晶圆探针卡又称探针卡,英文名称“Probecard”。广泛应用于内存、逻辑、消费、驱动、通讯IC等科技产品的晶圆测试,输半导体产业中相当细微的一环。当IC设计完成后,会下单给晶圆代工厂制作,晶圆制作完成后而尚未切割封装之际,为确保晶圆良率及避免封装的浪费,须执行晶圆电性测试及分析制程。探针卡预测试及构成测试回路,与IC封装前,以探针侦测晶粒,筛选出电性功能不良的芯片,避免不良品造成后段制造成本的浪费。随着半导体制成的快速进展,传统探针卡已面临测试极限,满足了高积密度测试,探针卡类型在不断发展。随着晶圆探针卡的不断提升,探针卡的种类不断更新。较早的探针卡发展于1969年。主要分为epoxring水平式探针卡;薄膜式水平式探针卡;垂直式探针卡,桥接支持构件;SOI型探针卡。目前晶圆测试厂较广的用于晶圆测试的探针卡为,悬臂及垂直探针卡2种类型。悬臂探针卡的优点:多种探针尺寸,多元探针材质;摆针形式灵活,单层,多层针均可;造价低廉,可更换单根探针;用于大电流测试。垂直探针卡的优点:垂直探针卡能带来更高的能力及效能,主要优点:多种针尖尺寸;高度平行处理适合Multi-Dut;高科技探针材料,高温测试。 矽利康测试探针卡生产厂家。湖南测试探针卡品牌排行
本公司是专业提供FLASH晶圆(晶粒)测试、分类、各类IC成品测试以及其它与测试相关的加工服务型工厂。我们拥有专业的晶圆测试设备,及专业的工程技术人员,可随时为您提供质量的产品服务。在晶圆制造完成之后,是一步非常重要的测试。这步测试是晶圆生产过程的成绩单。在测试过程中,每一个芯片的电性能力和电路机能都被检测到。晶圆测试也就是芯片测试(diesort)或晶圆电测(wafersort)。在测试时,晶圆被固定在真空吸力的卡盘上,并与很薄的探针电测器对准,同时探针与芯片的每一个焊接垫相接触,电测器在电源的驱动下测试电路并记录下结果。测试的数量、顺序和类型由计算机程序控制。测试机是自动化的,所以在探针电测器与前面的片晶圆对准后(人工对准或使用自动视觉系统)的测试工作无须操作员的辅助。测试是为了以下三个目标。前面的,在晶圆送到封装工厂之前,鉴别出合格的芯片。第二,器件/电路的电性参数进行特性评估。工程师们需要监测参数的分布状态来保持工艺的质量水平。第三,芯片的合格品与不良品的核算会给晶圆生产人员提供较全业绩的反馈。合格芯片与不良品在晶圆上的位置在计算机上以晶圆图的形式记录下来。从前的旧式技术在不良品芯片上涂下一墨点。 广东苏州矽利康测试探针卡多少钱选择测试探针卡那些厂家。
EVGroup企业技术总监ThomasGlinsner表示:“凭借20多年的纳米压印技术经验,EVGroup继续开拓这一关键领域,开发创新解决方案,以满足客户不断变化的需求。”“我们蕞新推出的纳米压印解决方案系列EVG7300将我们的SmartNIL全场压印技术与镜头成型和镜头堆叠结合在蕞先近的系统中,并具有市场上蕞精确的对准和工艺参数控制——为我们的客户提供前所未有的灵活性,以满足他们的行业研究和生产需求。”EVG7300系统在EVG的HERCULES®NIL完全集成的UV-NIL跟踪解决方案中作为独力工具和集成模块提供,其中额外的预处理步骤,如清洁、抗蚀剂涂层和烘烤或后处理,可以添加以针对特定的过程需求进行优化。该系统具有行业领仙的对准精度(低至300nm),这是通过对准台改进、高精度光学、多点间隙控制、非接触式间隙测量和多点力控制的组合实现的。EVG7300是一个高度灵活的平台,提供三种不同的工艺模式(透镜成型、透镜堆叠和SmartNIL纳米压印),并支持从150毫米到300毫米晶圆的基板尺寸。快速加载印模和晶圆、快速对准光学器件、高功率固化和小工具占用空间,使高效平台能够满足行业对新兴WLO产品的制造需求。
探针卡是将探针卡上的探针直接与芯片上的焊垫或凸块直接接触,引出芯片讯号,再配合周边测试仪器与软件控制达到自动化量测的目的。探针卡应用在IC尚未封装前,针对裸晶系以探针做功能测试,筛选出不良品、再进行之后的封装工程。因此,探针卡是IC制造中对制造成本影响相当大的重要制程之一。近年来半导体制程技术突飞猛进,超前摩尔定律预估法则好几年,现阶段已向32奈米以下挺进。目前产品讲求轻薄短小,IC体积越来越小、功能越来越强、脚数越来越多,为了降低芯片封装所占的面积与改善IC效能,现阶段覆晶(FlipChip)方式封装普遍被应用于绘图芯片、芯片组、存储器及CPU等。上述高阶封装方式单价高昂,如果能在封装前进行芯片测试,发现有不良品存在晶圆当中,即进行标记,直到后段封装制程前将这些标记的不良品舍弃,可省下不必要的封装成本。矽利康公司是一家专业从事测试解决方案的公司。公司拥有一批在半导体测试行业数十年的员工组成,从事探针卡设计,制造,研发;目前主要生产和销售的产品有晶圆测试探针卡,IC成品测试爪,以及测试系统解决方案。 专业提供测试探针卡多少钱。
在半导体的整个制造流程上,可简单的分成IC设计、晶圆制造、晶圆测试以及晶圆封装。晶圆测试又可区分为晶圆针测与晶粒封装后的后面的测试(FinalTesting),而两个测试的差别是晶圆测试是是针对芯片上的晶粒进行电性以及功能方面的测试,以确保在进入后段封装前,可以及早的将那些功能不良的芯片或晶粒加以过滤,以避免由于不良率的偏高因而增加后续的封装测试成本,而晶粒封装后的功能测试主要则是将那些半导体后段封装过程中的不良品作后面的的把关,以确保出厂后产品的品质能够达到标准。然而晶圆测试的主要功能,除了可将不良的晶粒尽早筛选出来,以节省额外的后段封装的制造成本外,对於前段制程来说,它其实还有一项很重要的功能,也就是针对新产品良率的分析以及前段制程之间的异常问题分析,因为通常在前段新制程开发阶段或者是在产品程序修改后,产品可能会因此而发生良率下滑的情况,为了验证新制程的开发以及让产品能够尽快的上市,這個時候就需要晶圆测试部门在有限的时间内搭配着工程实验分析制程间的差异并在只是短的时间内找到真正的根本原因来解决问题,避免让客户的新产品因为制程间的问题而延后上市。晶圆探针卡是针对整个芯片上的完整晶粒。 选择测试探针卡品牌排行。北京苏州矽利康测试探针卡生产厂家
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一、尖头被测点是凸状的平片状或者有氧化现象;二、伞型头被测点是孔或者是平片状或凹状;三、平头被测点是凸起平片状;四、内碗口平头被测点是凸起;五、九爪头被测点是平片或者凹状;六、皇冠头被测点是凸起或平片状;七、三针头被测点是凹状;八、圆头被测点是间隙较密且凸起或平片状。probecard翻译过来其实就是探针卡。探针卡是一种测试接口,主要对裸芯进行测试,通过连接测试机和芯片,通过传输信号,对芯片参数进行测试。目前我国探针卡市场发展迅速,产品产出持续扩张,国家产业政策鼓励探针卡产业向高技术产品方向发展,国内企业新增投资项目投资逐渐增多。投资者对探针卡市场的关注越来越密切,这使得探针卡市场越来越受到各方的关注。但是目前探针卡的关键技术部分是国外厂商垄断,如何提高其自主创新力度,如何消化吸收再创造,让研究成果真正的商业化还是有一段路要做的。 湖南测试探针卡品牌排行
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